Cachoeiras de Macacu teve seus primeiros habitantes ainda no século XVII, com a instalação de um núcleo agrícola, por volta do ano de 1647. No entanto, o povoado foi elevado à categoria de vila, passando a ser chamado Vila Santo Antônio de Sá em 15 de maio de 1679. Data esta em que é comemorado o aniversário do município.
Em 1877, um decreto provincial transferiu a sede municipal, que passou a ter o nome da nova localização, o arraial Santana de Macacu – que em 1898 passaria a se chamar Santana de Japuíba. O Distrito de Subaio foi criado e anexado a Santana de Macacu através de decretos e leis estaduais nos séculos XVIII/ XIX, e foi também através de legislação estadual que criou-se, em 1894, o Distrito de Cachoeiras de Macacu.